谐振梁加速度计测频噪声分析与实验

摘要：

随着谐振梁加速度计的精度不断提升,对谐振频率的测量噪声提出了更高要求.针对高采样率下的测频噪声性能,分析了等精度测频法和连续时间标记法两种测频方法,分别以信号发生器和加速度计输出的频率信号作为输入,利用研制的FPGA测频电路开展了测频噪声实验研究.结果表明高采样率下通过串接低通滤波器能够有效抑制测频噪声,低通滤波后两种测频方法的噪声水平相近,且随着采样率的提升,测频噪声趋于常值.实验结果表明,在 500 Hz更新率、串入 200 Hz带宽 4 阶Butterworth低通滤波器的条件下,使用等精度测频法和连续时间标记法测量加速度计样机输出,室温下测得样机的零偏稳定性分别为 1.03 μg和 1.24 μg.

关键词：谐振梁加速度计、频输测量、等精度测频法、连续时间标记法、低通滤波

所属期刊栏目：31

分类号：TN965.5

资助基金：国家自然科学基金62173196

在线出版日期：2023-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1053-1060