基于参数激励的MEMS陀螺电馈通抑制方法

摘要：

由于硅微陀螺仪材料和加工工艺以及电路上的非理想因素,驱动信号会对敏感检测端产生串扰.为抑制此种串扰,降低驱动激励幅度,采用了基于参数激励法的陀螺驱动模态激励系统.在锁相环控制中新增一个压控振荡器模块,用于输出稳幅的二倍谐振频率激励信号,即参数激励信号.将此信号与驱动激励信号一同对驱动激励电极进行激励,达到了降低刚度系数来减小驱动对敏感电馈通干扰的目的.实验结果表明,参数激励法对陀螺仪进行激励,将陀螺仪敏感输出信号幅度从141.25 mV降至38.75 mV,Allan方差零偏不稳定性从6.864(°)/h降至4.316(°)/h.表明了参数激励法对陀螺仪性能具有一定的提升作用.

关键词：硅微陀螺仪、参数激励法、刚度系数、电馈通干扰

所属期刊栏目：26

分类号：U666.1;V241.5(船舶工程)

资助基金：国家自然科学基金重点项目61434003

在线出版日期：2019-03-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：817-821,829