翘翘板摆式MEMS加速度计振动整流误差

摘要：

MEMS加速度计凭借其体积小、成本低、可靠性高及可批量生产等优势,已经在战术级精度的武器领域得到了广泛应用.但是,在振动环境下的输出误差(振动整流误差)成为其向导航级精度发展的主要指标瓶颈.为了减小MEMS加速度计的振动整流误差,对传感器芯片结构不对称性和电路零位误差引起的力矩器结构非线性进行了理论分析,然后按照振动法测非线性的方式对上述误差源引起的系统级误差模型进行了仿真试验验证,确定了各误差源与加速度计非线性系数间的影响关系.最后,对主要误差源(电路零位)优化前后的MEMS加速度计振动整流误差和非线性系数进行了测试对比,结果表明:优化后,在50—1500Hz频率范围内MEMS加速度计二阶非线性的最大值可由1E-4g/g2降至5E-6g/g2.

关键词：MEMS加速度计、振动整流误差、非线性、闭环平衡位置

所属期刊栏目：25

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：国际合作项目—高精度微机电系统制造技术合作研究2011DFA72370

在线出版日期：2017-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：690-694