一种MEMS陀螺仪的飞秒激光修调方法

摘要：

受微加工工艺条件限制,MEMS敏感结构的尺寸等关键参数的相对误差较大,使其在宏观上表现出非理想的运动特性,性能指标也难以满足高精度应用的要求.为消除加工误差的影响,分析了一种MEMS陀螺仪的运动特性和误差耦合机理,提出了一种通过飞秒激光对敏感结构的梁进行刻蚀修调的方法.MEMS陀螺修调前后的运动特性试验表明,修调后的误差系数比修调前降低了50％以上,而误差的稳定性则比修调前提高了约70％,证明提出的飞秒激光刻蚀方法能够抑制微加工误差的影响,提高MEMS陀螺仪的性能.

关键词：MEMS陀螺仪、飞秒激光、零偏漂移、结构修调

所属期刊栏目：25

分类号：TH703.2(仪器、仪表)

资助基金：国防预研项目51309010303

在线出版日期：2017-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：260-264