Z切石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性

摘要：

对Z切石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性进行了研究.首先研究了Z向腐蚀速率随腐蚀温度和腐蚀液浓度的变化关系,然后研究了Z向表面腐蚀粗糙度随腐蚀深度、腐蚀液体浓度、腐蚀温度的变化规律,最后将石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性跟在BHF溶液中的腐蚀特性进行了简单对比.试验结果表明:腐蚀速率随腐蚀温度和腐蚀液浓度增加而增加;Z向腐蚀表面粗糙度随腐蚀时间的增加而增加;提高腐蚀液体浓度有利于减小腐蚀表面粗糙度;提高腐蚀液体温度有利于减小表面粗糙度;石英在氟化氢铵溶液腐蚀具有更高的腐蚀效率和更小的腐蚀表面粗糙度.本研究结果能够为石英MEMS器件的设计和工艺提供有益帮助.

关键词：微电子机械系统、湿法腐蚀、Z切石英、表面粗糙度

所属期刊栏目：25

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：中国工程物理研究院超精密实验室自主面上基金ZZ16003

在线出版日期：2017-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：256-259,264