提高载体驱动硅微陀螺灵敏度的方法

摘要：

载体驱动硅微陀螺是一种利用体微工艺制备的新型电容式振动MEMS陀螺,它安装于旋转飞行器上,利用载体的自旋作为驱动.当载体发生横向转动时,敏感质量受到周期性科氏力的作用,产生振动,从而敏感输入角速度.针对该种MEMS陀螺,首先介绍了陀螺的工作原理和电容式检测结构,然后详细分析了差分电容与敏感质量偏转角之间的关系,最后提出了一种通过调节电容拾取电路的脉冲信号的占空比,来提高陀螺灵敏度的方法.实验测试结果表明,当占空比由50％调整到75％时,相应输出电压峰峰值可由10.7V提高到13.1V,提高幅度达22.43％.理论分析和实验结果均表明,该方法可简便有效地提高陀螺灵敏度,具有实际应用价值.

关键词：陀螺灵敏度、占空比、电容式检测结构、MEMS陀螺

所属期刊栏目：24

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61563038;内蒙古自治区高等学校创新团队发展计划支持NMGIRT-A1609

在线出版日期：2017-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：786-792