基于双通道解调相位校准技术的MEMS陀螺仪接口电路芯片

摘要：

MEMS陀螺仪传感器件的机械正交误差信号会造成陀螺仪灵敏度、偏置稳定性等系统关键性能下降,甚至使陀螺仪工作失效.同步解调可以有效消除机械正交误差信号,但需要精准控制校准相位.设计了一款基于双通道解调相位校准技术的陀螺仪接口电路芯片,采用0.35 μm CMOS工艺.芯片检测通路中设计了中心频率可调的开关电容型带通滤波器,用模拟方式粗调相位误差,并消除低频振动噪声与高频耦合噪声;解调信号产生通路中设计了可调相移分频器,用数字方式精调相位误差.实验结果表明,本芯片的相位校准精度要明显高于仅采用数字相位校准技术的对比芯片,并且将系统噪声降低了一个数量级以上,偏置稳定性性生能也从1 00(°)/h提高到了6(°)/h.

关键词：MEMS陀螺仪、相位校准、机械正交误差消除、接口电路

所属期刊栏目：23

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：国家自然科学基金61474120;浙江省自然科学基金LQ16F010001;宁波市自然科学基金2015A610113;浙江省教育厅一般科研项目Y201533258

在线出版日期：2016-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：805-811