谐振式加速度计非线性振动的建模与优化

摘要：

实验发现硅微谐振式加速度计非线性效应的弱化可以降低测量噪声,对非线性振动进行了推导与建模,利用扫频数据得到模型中的未知参数,并根据模型计算出使非线性效应消失所需的激励电压,给闭环工作点的设计提供了理论指导.实验结果表明:模型与实际系统在各激励电压幅值下均保持一致,非线性效应消失点和实验吻合.根据闭环工作点的设置进行了方案优化,最终在0.25 mV激励电压下的闭环实验中,实现了5.5×10-5 Hz的频率输出噪声,对应加速度噪声为1.7 μg,与之前30μg的噪声水平相比改善了数十倍.

关键词：谐振式加速度计、非线性振动、杜芬方程、降低噪声

所属期刊栏目：23

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：十二五预研项目20114113015

在线出版日期：2016-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：775-779