高精度硅微谐振加速度计频率测量输出电路

摘要：

硅微谐振加速度计是一种频率输出的MEMS仪表,针对其差动频率输出的特点和对静态与动态高精度测试精度的要求,设计并实现了一种高精度频率输出电路,实现了差动频率的实时相减和静态与动态频率信号输出.对电路及仪表的精度进行了测试,测试结果表明,该电路稳定性可达到1×10-9,全温范围内(-40～+70℃)非线性优于1×10-7,频率分辨率可达到1×10-5,测试精度满足仪表系统精度要求,使仪表更满足工程应用的条件.根据实际工程应用要求,还对该电路提出了抗干扰设计,进一步提高了该电路的工程应用可靠性.

关键词：谐振式、频率测量、频率相减、抗干扰

所属期刊栏目：22

资助基金：国防基础科研项目支持A0320110013

在线出版日期：2015-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：820-824