静电悬浮加速度计反馈引起闭环点漂移机理及抑制方法

摘要：

静电悬浮加速度计的检测质量闭环点位置偏离电极框中心时会造成系统非线性误差，调整检测电路输出电压可调整检测质量闭环点，而在调整过程中发现反馈电压变化会引起电容检测电路输出电压漂移，从而影响闭环点调节精度。为解决此问题，研究了闭环点位置与检测电路输出电压变化的关系，推导了检测电路传递函数，初步确定了反馈电压对检测电路输出电压影响的原因是隔直电容选取不恰当，通过实验对比了材料为C0G、Y5P、X7R及SL的多层陶瓷电容作为隔直电容时输出电压与反馈电压关系。实验结果表明：采用低温漂、耐高压和受频率影响小的C0G电容作为隔直电容能够消除反馈对检测电路引起的输出电压漂移，从而消除调节闭环点过程中闭环点位置的漂移，并且能提高检测电路稳定性。

关键词：非线性、闭环点漂移、C0G电容、静电悬浮加速度计

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：清华大学自主科研计划20091081243

在线出版日期：2014-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：682-687