一种基于FIB刻蚀的MEMS陀螺修调方法

摘要：

受微加工工艺条件限制，MEMS传感器的结构尺寸等参数总是偏离设计值，使其性能水平难以满足高精度应用的要求。为了抑制一种MEMS陀螺敏感结构的加工误差，分析了其主要运动模态的特性以及耦合误差的主要来源，提出了通过FIB刻蚀手段对陀螺十字型梁结构进行修调的方法，并对修调前后陀螺的耦合误差以及误差的温度稳定性进行了分析比较。对陀螺性能的测试结果表明，两种FIB刻蚀方式分别使陀螺零偏误差比修调前降低约35%和72%，而误差的温度稳定性则分别提高了80%和55%，证明修调方法能够抑制陀螺误差、提升陀螺的性能。

关键词：MEMS陀螺、FIB刻蚀、零偏误差、修调

分类号：V241.53(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)

资助基金：总装备部惯性预研项目51309010301

在线出版日期：2014-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：660-664