MEMS惯组抗高g值冲击设计方法

摘要：

MEMS惯组以其体积小、成本低、可靠性高在强冲击环境中得到越来越广泛的应用。为解决基于石英微陀螺和硅微加速度计的MEMS惯组抗高g值冲击问题，提出了一种内减振抗冲击设计方法。在该设计方法中，将陀螺与加速度计嵌入式安装在对称六面体框架结构上，并通过粘接在六面体框架八个顶点的24块粘弹性阻尼减震器与惯组基体隔离，实现内减振。同时基于弹簧阻尼系统理论建立了MEMS惯组抗冲击等效数学模型，对模型进行了仿真分析。利用有限元分析软件ANSYS对三维结构模型进行了模态分析和冲击仿真分析，并通过结构扫频实验与9次5000g冲击谱试验进行了验证。仿真分析与试验结果证明了该方法的有效性及可行性。

关键词：石英陀螺、MEMS惯组、弹簧阻尼系统、高g值、冲击

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：总装十二五预研项目51309010401

在线出版日期：2014-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：404-408