基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法

摘要：

环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移.通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因素.提出了加速度计闭环点位置控制方法,通过在环内加入控制电压可使闭环点始终工作于稳定位置.试验结果证明,该方法可显著降低零偏K0的温漂,闭环点始终位于零反馈位置时零偏K0的温漂系数可降低一个数量级,且温漂滞环可被压缩至±1 mV(±7.77 mg)以内.

关键词：硅微梳齿式加速度计、温漂、闭环点位置、滞环

所属期刊栏目：22

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：总装"十二五"预研项目513090203**

在线出版日期：2014-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：114-119