硅微陀螺正交误差直流校正设计与分析

摘要：

为硅微陀螺设计了一种正交误差直流校正方法,通过设计校正结构和加载直流电压实现正交校正.建立了存在正交误差时敏感质量的运动微分方程,分析明确了正交响应的成因和对驱动运动轨迹的影响.为硅微陀螺设计了正交校正结构,实现构建静电耦合弹性系数并利用驱动运动产生校正静电力.校正力的频率和相位无需电路控制,使该方法相较于传统校正方法具备特殊优势.设计并分析了校正电压的两种加载方式,通过实验测试验证了正交响应幅值随校正电压的变化规律.实测校正电压接近理论值,证明了校正结构设计的正确性.该方法在双线振动式硅微陀螺中具有重要应用价值.

关键词：硅微陀螺、正交误差、正交校正、直流电压、结构设计

所属期刊栏目：22

分类号：TH824+.3

资助基金：国家自然科学基金项目61101021;中央高校基本科研业务费专项资金资助3222003102

在线出版日期：2014-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：104-108