大量程微机械加速度计非线性的弱闭环修调

摘要：

大量程微机械加速度计在制导炮弹等大动态武器的组合导航系统上具有重要的应用需求.开环工作的大量程微机械加速度计由于敏感单元的大变形,支撑梁机械刚度的非线性、差动电容器的非线性以及电容检测电路的非线性等会造成较大的全量程测量误差.设计提出一种利用静电力进行弱闭环修调的简单方法,改善大量程加速度计的非线性,有利于提高其测量精度和动态范围.Simulink仿真和原理性验证实验证明了该方法的有效性.基于该弱闭环修调的方法研制了一种单5V供电的大量程微机械加速度计,其分辨率优于2mg,2h偏置稳定性5mg,±200g范围内的非线性度为0.68％.

关键词：微机械加速度计、大量程、非线性、弱闭环修调

所属期刊栏目：21

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：“十二五”预研20114113015

在线出版日期：2014-02-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：682-686