静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统级仿真

摘要：

给出了一种基于 MEMS 技术的静电悬浮转子微陀螺，可同时测量两轴角速度和三轴线加速度；采用力平衡原理和力矩平衡原理测量壳体输入的线加速度和角速度，即对转子实行闭环控制使转子保持在零位，输出控制电压反映壳体输入线加速度和角速度的大小。针对转子结构，提出了一种基于模拟 PID 技术的非集中控制策略来实现悬浮控制，建立了一种基于 Coventorware 的机电混合仿真模型，对结构、电路和控制进行通盘考虑。通过起支仿真和加速度输入仿真可以看出，系统级仿真结果表明了其具有仿真速度快、仿真结果准确等优点，在与实验结果的比较中证实仿真结果的准确性和有效性。

关键词：静电悬浮、微陀螺、悬浮控制、系统级仿真

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：广东省自然科学基金博启项目S2011040001279；肇庆学院科研基金资助项目201207；肇庆学院第四轮重点学科建设基金资助801113

在线出版日期：2013-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：397-401