大载荷下线振动微机械陀螺谐振频率漂移特性

摘要：

线振动 MEMS 陀螺在大载荷条件下,驱动轴与检测轴的谐振频率会发生漂移,频差随载荷变大.这类型振动陀螺为了提高灵敏度往往将两个振动轴的谐振频率设计得尽量靠近,但当角速率载荷较大时,两个振动轴的谐振频率将发生分裂漂移,彼此互相远离.漂移量与向心加速度无关,近似与角速率载荷的平方成正比,且两轴的谐振频率越靠近漂移越剧烈.考虑到 Coriolis 效应的弹簧质量块二维振动数学模型可定量描述该现象,表明此现象为线振动陀螺 Coriolis 效应的一部分.理论分析、仿真研究和实验数据的不同角度对这种频率漂移特性的分析结果吻合良好,为进一步结构优化奠定了理论基础.

关键词：MEMS 陀螺、大载荷、谐振频率漂移、Coriolis 效应、二维振动

分类号：V241.5(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)

在线出版日期：2013-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：231-234