电极绝缘的压控型四轴静电悬浮支承技术

摘要：

基于经过绝缘化处理的支承电极,提出了压控型四轴静电悬浮支承系统的技术方案.首先给出了支承系统的位移测量电路,介绍了在极限工作条件下可以将执行器件功耗降低70%以上的低功耗的高压放大器.推导了电极绝缘条件下的静电力模型,并引入加权系数来表征电极覆盖绝缘膜对静电悬浮力的影响.根据建立的静电力模型设计了控制器并进行了悬浮实验.实验结果表明,支承系统实现了转子的稳定悬浮,说明在合理量化电极绝缘对测量系统和静电力模型的影响条件下,电极绝缘的静电悬浮支承系统可以实现正常工作.

关键词：静电支承、间隙电容、电极绝缘、电压控制

分类号：U666.1(船舶工程)

在线出版日期：2013-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：729-733