静电陀螺维持真空的复合泵技术

摘要：

静电陀螺仪的真空保持是影响其精度、可靠性和使用寿命的关键技术之一.结合消气剂和离子泵的各自优缺点,研制了一种由非蒸散型消气剂泵与冷阴极溅射离子泵组成的复合泵.采用φ9×7mm的消气剂器件,消气剂泵最大吸气量≥6.3×10-3Pa·m3,确保离子泵在1×10-2Pa真空条件下启动,抽至ESG工作压力P=仅2分钟,而复合泵的寿命提高到100,000h,为以前的5倍.

关键词：静电陀螺仪、真空保持、消气剂泵、离子泵

所属期刊栏目：14

分类号：U666.1(船舶工程)

在线出版日期：2006-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：55-57