静电悬浮转子微陀螺及其关键技术

摘要：

静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度.介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状.对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计的关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨.指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力.

关键词：微机电系统、微陀螺、微加速度计、转子、静电悬浮

所属期刊栏目：13

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：中国科学院资助项目60402003;教育部重点项目0307

在线出版日期：2006-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：61-67