静电伺服微加速度计的量程设计

摘要：

详细推导了静电伺服加速度计在定极板上施加直流偏压、交流驱动电压,动极板上有反馈直流电压和交流检测电压的情况下,检测质量(动极板)受到的静电力.通过对静电力的分析,得出静电伺服微加速度计的量程除了受系统能提供的最大静电力限制外,还需满足电刚度小于与机械刚度的条件,该电刚度是极板上所有的直流电压、交流电压产生的电刚度之和.离心实验证明,利用该原则设计的"叉指"结构静电伺服微加速度计的量程达到了设计值.该设计原则可以为此类加速度计的设计提供参考.

关键词：静电伺服微加速度计、量程、静电力、电刚度

所属期刊栏目：11

分类号：U666.1(船舶工程)

资助基金：中国工程物理研究院国防预研项目2002-4210503-5-03

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：90-93