磁控溅射工艺对CrN薄膜及其腐蚀行为的影响

摘要：

通过磁控溅射技术制备了CrN薄膜,使用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等方法研究了N2分压、溅射功率以及夹杂物数量对CrN薄膜结构、成分、耐蚀性能的影响.结果 表明,提高N2分压能增加CrN相的含量,且CrN基体有明显的(111)和(200)面取向;降低溅射功率有利于使更多的Cr参与反应,生成更多的CrN.此外,夹杂物数量对薄膜质量有重大影响,夹杂物处不易镀上膜导致其耐蚀性明显下降.

关键词：304不锈钢、磁控溅射、镀膜、腐蚀

所属期刊栏目：39

分类号：TG172(金属学与热处理)

资助基金：国家重点研发专项2017YFB0702300;国家材料环境腐蚀平台2005DKA10400;国家自然科学基金51671029

在线出版日期：2019-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：423-430