等离子镍铬表面合金化合金元素利用率研究

摘要：

采用双层辉光离子渗金属技术在20钢上进行镍铬共渗处理,对合金元素的溅射和吸收这两个渗金属过程,从放电及溅射等理论角度并结合试验结果进行了分析讨论.结果表明,放电条件对渗层形成效率有很大影响,合金元素的利用率在不同的放电参数下会有悬殊的变化.溅射量决定于溅射电压与气压,利用率则受工件偏压、气压、极间距的共同控制.在一定的溅射量下,利用率的高低决定了渗层质量及形成效率.提高合金元素的利用率是工艺参数选择的最重要目标.

关键词：辉光放电、溅射、表面合金化

所属期刊栏目：19

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2004-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：345-350