氩氧流量比对掺锌二氧化钛薄膜亲水性能影响的研究

摘要：

采用射频磁控溅射法制备掺锌二氧化钛薄膜,控制溅射时间为2h,溅射功率为100W,500℃退火2h不变的情况下,研究不同的Ar/O2流量比对掺锌TiO2薄膜亲水性能的影响.试验结果表明:在无退火的情况下Ar/O2为3∶7的光致亲水性能较好,而退火能够改善薄膜的亲水性能,当Ar/O2为4∶6时,所制备的薄膜光致亲水性能最稳定.

关键词：Ar/O2流量比、掺锌TiO2薄膜、磁控溅射、超亲水性能

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：三明学院大学生创新性实验计划项目ZL1219/CS;福建省大学生创新创业训练计划项目ZL1214/CS

在线出版日期：2013-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：35-36