MEMS流量传感器

摘要：

上个世纪五六十年代，在各行各业大量需要测量出流量参数的背景下，各种流量传感器不断涌现。这几十年来，微机电系统（MEMS）也取得了非常重要的发展，传统的流量传感器也需要有更加高的精度，更加的集成化，更好的可靠度，因此MEMS流量传感器成为了重要的研究对象。本文对MEMS流量传感器的发展历程，测量原理，分类发展等内容作了必要的介绍，也对一些常用的MEMS流量传感器的特点进行了描述。在文章的最后部分，还给出了MEMS流量传感器的三个主要发展阶段，并且对各阶段的特征给出了介绍，对未来的发展给出了展望。

关键词：MEMS、流量传感器、进展

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2012-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：110-111