功率器件高温高湿高压反偏测试研究综述

摘要：

户外工况下,功率器件寿命受高湿环境中的水汽侵蚀缩短.用于考核湿度可靠性的传统高温高湿反偏测试最大值80V偏压已不能满足高压大功率器件加速老化测试需求,高温高湿高压反偏测试(high-voltage high humidity high temperature reverse bias test, HV-H3TRB)近年来得以开展.然而,相关研究进展慢、存在的关键问题不明等使得研究发展方向不甚明朗.首先从基本原理出发,详细论述水汽侵入功率器件、腐蚀芯片表面的机理.进一步地,针对研究对象与方法、器件失效分析、电气量老化特征等3个方面对已有研究现状进行论述与总结.最后,根据老化前后器件结构变化,总结芯片层终端、钝化层、封装材料的抗湿优化设计,并指出相关研究后续发展方向.

关键词：功率器件、高温高湿高压反偏测试、失效分析、钝化层、封装材料

所属期刊栏目：53

资助基金：国家自然科学基金资助项目;中央高校基本科研专项资金

在线出版日期：2020-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：18-29