一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法

摘要：

针对直线超声电机在精密驱动过程中存在较强的非线性、时变性及控制模型复杂等问题,提出了一种基于正态分布理论统计直线超声电机驱动电压与速度/位移关系的方法,结合模糊逻辑控制技术,实现了对直线超声电机精密定位控制.利用宏微驱动控制模式对超声电机驱动的平台进行大行程、高精度定位实验研究,实验结果表明采用所提方法,当行程为5 mm时,稳态误差小于5nm,能抑制系统的超调,改善系统动态性能.同时,由于直线超声电机动态保持力非常大,使得系统具有良好的抗扰动能力.

关键词：直线超声电机、定位平台、宏微驱动、大行程、精密定位

所属期刊栏目：32

分类号：TP242(自动化技术及设备)

在线出版日期：2012-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：60-65