一种新结构的双向直线运动驻波型超声波电机

摘要：

研究了一种新结构的双向运动直线超声波电机.该种直线超声波电机由一块在两端部开槽、形成2个薄弱环节的板构成.通过有限元分析可知,调整薄弱环节和两端部的尺寸,在板中间可以形成2个波长几乎相等的驻波模态,其中一个是正弦振型,一个是余弦振型;通过粘贴8片PZT4压电陶瓷在板的中部来激励这2种振动模态.依照该原理,设计制造并研究了长60 mm、宽10 mm的新型双向直线运动超声波电机.该直线超声波电机在一个方向上最大速度220 mm/s,最大出力1.764 N,在另一个方向上最大速度270 mm/s,最大出力1.96 N,且达到了0.2 μm以下的分辨率.

关键词：双向运动、驻波型、直线超声波电机、压电陶瓷

所属期刊栏目：29

分类号：TM356;TM383(电机)

资助基金：国家自然科学基金;浙江省自然科学基金

在线出版日期：2010-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：49-55