磁悬浮平面电机的解耦控制策略

摘要：

用于光刻加工的磁悬浮平面电机的6个运动自由度之间存在着紧密的电磁和力学耦合.为实现各运动自由度的解耦控制,提出了直线电机型电磁执行器的电流控制模型、基于模式力的解耦动力学模型和平面电机解耦控制策略.模式力使各自由度的动力学模型不再存在耦合,且都为简单的2阶线性系统.设计了样机的X位置伺服控制器,仿真结果表明该控制器使解耦后的X位置控制达到了预期的动、静态性能,并具有良好的抗扰性和鲁棒性.

关键词：平面电机、模式力、伺服控制器

所属期刊栏目：29

分类号：TM703(输配电工程、电力网及电力系统)

资助基金：国家自然科学基金50407008

在线出版日期：2009-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：81-86