试分析多晶硅铸锭原料中重掺料影响的相关问题探究

摘要：

多晶硅铸锭的过程需结合原生多晶硅、碎片以及边皮等一系列的硅料品种才能达到预期设定的电阻率.一旦这些硅料中存在重掺料,势必会对硅锭预期的电阻率造成一定的影响,如会呈现降低现象,影响硅锭的最终品质.为此,本文主要就着这一问题,对多晶硅铸锭原料中重掺料影响的相关问题进行重点探究,并提出具体的措施去除重掺料对多晶硅铸锭的影响,使得多晶硅锭电阻率可以达到预期规律的标准.

关键词：多晶硅铸锭、重掺料、电阻率、影响

在线出版日期：2018-07-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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