10.3969/j.issn.1673-5811.2017.32.267
炉管工艺制程中第一片产品片常见问题分析
炉管工艺在薄膜生长和退火制程中,第一片产品片常出现厚度及应力与其他片不同的问题.本文分析了此类问题的常见的原因及改善措施.
炉管、第一片产品、厚度、应力
2017-12-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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10.3969/j.issn.1673-5811.2017.32.267
炉管、第一片产品、厚度、应力
2017-12-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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