10.3969/j.issn.1673-5811.2004.06.016
电子信息材料发展现状及展望
@@ 一、概述二、主要电子信息材料国内外现状及发展趋势1.微电子、光电子材料(1)硅基材料多晶硅和硅单晶;SOI材料.硅锗(SiGe/Si)材料.
光电子材料、信息材料、硅基材料、发展趋势、微电子、硅单晶、多晶硅、国内、硅锗
F4(工业经济)
2006-06-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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光电子材料、信息材料、硅基材料、发展趋势、微电子、硅单晶、多晶硅、国内、硅锗
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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