碲化铋基热电薄膜与器件研究进展

摘要：

随着微电子技术的快速进步,电子器件不断朝着高性能、 微型化、 低功耗、 自供电的方向发展.在器件性能和集成度不断提高的同时,小空间的快速散热问题成为制约其发展的关键瓶颈之一.热电薄膜器件是一种以热电薄膜材料为核心的半导体能源转换器件,具有全固态、无噪音、免维护、体积小等优点,在高热流密度电子元器件快速散热和低功耗电子器件自供电等领域具有迫切的应用需求和广阔的市场前景.Bi2 Te3基热电材料是目前室温条件下性能最好的热电材料,以Bi2 Te3基热电薄膜材料与器件为核心,重点介绍了常用热电薄膜材料的制备与性能优化方法,热电薄膜器件的结构设计、制备工艺以及界面优化手段,并对热电薄膜器件在热电发电和热电制冷领域的应用做了简要介绍.

关键词：Bi2Te3、薄膜、热电材料、热电器件、制备方法、性能优化

所属期刊栏目：41

分类号：TN37(半导体技术)

资助基金：科技部重点研发计划项目;浙江省重点研发计划项目;浙江省重点研发计划项目;浙江省领军型创新创业团队项目

在线出版日期：2023-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：1005-1017