氮气流量对高功率脉冲磁控溅射CrNx/CrC复合镀层耐蚀性能的影响

摘要：

利用高功率脉冲磁控溅射(high power impulse magnetron sputtering,HiPIMS)在单晶硅和304不锈钢基底上制备了CrNx/CrC复合镀层,并通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)以及浸泡法对其形貌结构、 物相及耐蚀性能进行了分析,研究了氮气流量对CrNx/CrC复合镀层微观组织形貌和耐蚀性能的影响.结果表明:Cr靶在200 Hz、 占空比为6％的电场条件下可以形成稳态的高功率脉冲放电;CrNx/CrC复合镀层表面由不规则的球形颗粒堆积组成,均匀紧密;CrNx/CrC复合镀层呈柱状生长,且截面可明显观察到较明显的分层界面,分别是CrC层和CrNx层;受Ar+刻蚀作用减弱的影响,随着氮气流量的增加,CrNx/CrC复合镀层的厚度和平均沉积速率先略微增加,之后再明显减小;随着氮气流量的增加,CrNx/CrC复合镀层的致密度有所增加;当氮气流量为60 mL·min-1时,镀层晶柱的间距最小,且上下层结合最紧密,耐蚀性能最好.

关键词：高功率脉冲磁控溅射、CrNx/CrC复合镀层、氮气流量、微观结构、耐蚀性能

所属期刊栏目：41

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2022-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：573-577