铂及铂合金材料抗玻璃侵蚀能力的研究

摘要：

目前国内对于不同厂家不同批次铂金材质的抗玻璃侵蚀性能没有有效的测试方法.建立了一种铂金抗玻璃侵蚀性能检测方法,既能评估铂金材料抗玻璃侵蚀性能,也为评估、解决玻璃中铂金缺陷问题提供数据.通过金相分析、质谱仪分析测试Pt、PtRh 10、PtRh20铂金材料抗玻璃侵蚀性和玻璃中Pt,Rh的溶解量.结果表明:Pt、PtRh10、PtRh20材料在1600℃高温下均有氧化挥发;Pt,Rh均属于重金属,Pt,Rh离子易在玻璃液底部积聚;TFT玻璃中Rh溶解量明显高于Pt,玻璃中Pt,Rh含量比值在1∶4至1∶5之间;在1600℃/18 h条件下PtRh20铂金材料Pt,Rh在玻璃中溶解量是1500℃/18 h条件下Pt,Rh在玻璃中溶解量的1.2～1.5倍,是1400℃/18 h条件下Pt,Rh在玻璃中溶解量的6～10倍.

关键词：TFT-LCD玻璃基板、铂及铂合金、抗玻璃侵蚀、Pt、Rh溶解量、动态侵蚀装置

所属期刊栏目：37

分类号：TG146.3+3(金属学与热处理)

资助基金：“十三五”国家重点研发计划项目2016YFB0303701

在线出版日期：2019-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：933-936