一种低温共烧压电陶瓷的制备

摘要：

压电陶瓷多层膜的低温共烧特性及压电性能密切依赖于其成分。采用调节压电材料成分，以0．90Pb（zr048Ti0.52）03—0．05Pb（Mnl／3Sb2／3）03-0．05Pb（Zn1/3Nb2／3）03四元体系为研究对象，同时添加烧结助剂CuO来实现多层膜的低温烧结。对多层膜的流延、排胶、烧结、极化等工艺进行探索以优化工艺参数，最终获得850oC烧结温度下的高致密度多层压电陶瓷。压电性能的测试表明三层结构的压电多层膜陶瓷表观d33达873pC／N，远高于同成分单层陶瓷306pC／N的d33值。采用多普勒激光测振仪进行扫频实验，测定了多层陶瓷纵向振动速度的频谱，确定了基于该多层膜压电振子的最优谐振频率。

关键词：低温共烧陶瓷(LTCC)、压电陶瓷、多层膜

所属期刊栏目：31

分类号：TQ174.758

资助基金：科技部973计划项目2012CB619406;教育部博士学科点专项科研基金新教师基金课题20103218120003

在线出版日期：2012-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-33,25