场致电子发射薄膜材料研究评述

摘要：

场致电子发射(场发射)薄膜材料由于在场发射平板显示器、电子源等诸多高性能真空微电子器件上具有广阔的应用前景,引起了人们广泛的关注与研究兴趣.综述了场发射薄膜材料的理论与实验研究进展,并评述了场致电子发射薄膜材料研究的瓶颈问题及未来发展方向与趋势.

关键词：场发射、薄膜材料、纳米薄膜

所属期刊栏目：28

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金10604001;北京市科技新星计划2008B10

在线出版日期：2009-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：6-12