介观尺度铜膜力学行为尺度效应研究进展
以作者课胚组近期的研究结果为基础,以集成电路中互连线用金属Cu薄膜为模型材料,分别介绍了金属薄膜延性和疲劳寿命评价方法及相关测试结果的最新进展,讨论了介观尺度Cu薄膜力学性能的尺度效应,分析了薄膜材料中准静态力学性能对动态性能的影响,并简述了多场耦合对薄膜力学性能及变形行为的影响.
金属薄膜、延性、疲劳、尺度效应、评价方法
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TG111(金属学与热处理)
国家重点基础研究发展计划973项目2004CB619303
2009-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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