10.3969/j.issn.1674-3962.2007.10.013
超导衬底材料制备技术适合联机生产
@@ 为了制备单晶Ni衬底,将大约100 nm厚的牺牲外延铜层电沉积在单晶镍基极层上,然后再沉积一个10~50μm的外延镍层,利用选择性的腐蚀去除铜层,把顶部的Ni层从基极层上分离.
超导、衬底材料、制备技术、联机、外延、基极、单晶、再沉积、选择性、电沉积、镍层、腐蚀、分离、除铜
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TN3;TQ6
2012-03-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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