磁控溅射法制备T型柔性薄膜热电偶

摘要：

为解决测温元器件薄而不柔的问题,适应柔性测温技术需求,采用真空卷绕磁控溅射技术制备T型柔性薄膜热电偶.通过对制备过程中溅射功率和时间的研究,系统分析制备条件对柔性薄膜热电偶的薄膜厚度及表面电阻的影响,将T型柔性薄膜热电偶进行校准测试后,确定最佳制备条件.结果表明,80 W直流溅射40 min制得阳极铜膜;150 W直流溅射40 min制得阴极铜镍合金(康铜)膜,组合而成的柔性热电偶测温性能最佳.磁控溅射工艺制备厚度为0.05 mm、长度为130 mm以上的T型柔性薄膜热电偶,其温度测量范围可达-50.0～150.0℃,温度最大偏差仅为±0.3℃,具有良好的灵敏度及测温能力.T型柔性薄膜热电偶的可控制备,实现T型热电偶既柔又薄,减少传统测量方式引起的误差,为其大规模生产应用奠定了基础.

关键词：磁控溅射、柔性、薄膜、热电偶、卷对卷

所属期刊栏目：35

分类号：TB383;TH811;TB942(工程材料学)

资助基金：上海市科技创新行动计划资助项目20dz1202106

在线出版日期：2022-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：231-236