低温制备MAX相薄膜:成相与性能研究进展

摘要：

MAX相薄膜材料是材料研究的热点之一.综述了MAX相薄膜的制备技术,介绍了典型的促进MAX相薄膜低温成相的方法,分析讨论了低温沉积MAX相薄膜的影响因素和生长机理,指出MAX相薄膜的制备难点主要是在降低温度和减少杂质相的生成.统计并对比分析了文献中MAX相薄膜材料的几项主要使用性能的数据,包括导电性、耐腐蚀性能、硬度和模量,指出MAX相薄膜材料的耐腐蚀性能数据还不够充分和系统,甚至存在一定的不一致性,对其耐腐蚀性能的行为和机理需要更多的研究.

关键词：MAX相薄膜、低温沉积技术、导电性、耐磨蚀性

所属期刊栏目：34

分类号：TG174(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金;深圳市高等院校稳定支持计划资助项目

在线出版日期：2022-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共14页

页码：45-58