氮气对纳米金刚石膜的生长结构及晶界处H含量的影响

摘要：

采用MPCVD技术,研究了CO2-CH4-N2体系中N2对纳米金刚石膜生长状态及晶界处H含量的影响.利用SEM,XRD,Raman,FTIR及TEM对纳米金刚石膜的形貌、结构和质量进行研究,并利用Raman及FTIR对晶界处H的含量进行计算分析.结果 表明,N2流量的增加会在促使纳米金刚石膜的晶粒团聚体从球状逐渐转变为针状的同时减小晶粒尺寸,并使择优取向由<111>转变为<110>.随着N2流量的增加,纳米金刚石膜的质量也随之降低,但晶界处的H含量逐渐上升.具有针状晶粒团聚体的纳米金刚石膜具有明显的金刚石相和晶体石墨相.N2流量的增加不仅可以有效降低纳米金刚石膜的晶粒尺寸,改变晶粒的团聚形态及择优取向,还可以显著增加晶界处H的含量,促进石墨相的生成.

关键词：纳米金刚石膜、微波等离子体、生长结构、氢、晶界

所属期刊栏目：33

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：湖北省教育厅科学技术研究计划优秀中青年人才项目;武汉工程大学科学研究基金

在线出版日期：2020-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：39-46