退火处理对WC-DLC薄膜结构及性能的影响

摘要：

为研究退火处理对WC-DLC薄膜结构与性能的影响,采用磁控溅射技术在高速钢表面沉积WC-DLC薄膜,并作不同温度下的退火处理,对不同温度退火处理后的WC-DLC薄膜的结构、摩擦学性能与耐腐蚀性能进行系统表征.结果表明:WC-DLC薄膜呈现出非晶态特征,随着退火温度的上升,薄膜中sp3-C相对含量下降;当退火温度在250℃时,WC-DLC薄膜在大气环境下与去离子水环境下分别表现出最优的摩擦学性能,磨损率分别为1.25× 10-7 mm3/Nm与1.02×10-7 mm3/Nm.同时,当退火温度低于250℃时,WC-DLC薄膜的耐腐蚀性能无明显变化,但当退火温度高于250℃时,WC-DLC薄膜的耐腐蚀性明显下降.退火处理对WC-DLC薄膜的热稳定性、摩擦学性能及耐腐蚀性能有重要影响.

关键词：WC-DLC薄膜、退火、摩擦学性能、耐腐蚀性能

所属期刊栏目：30

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金51365016,51611130190;江西理工大学清江青年英才支持计划;National Natural Science Foundation of China51365016,51611130190;Program for Excellent Young Talents,JXUST

在线出版日期：2017-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：16-24