Cr-Ti-N系多层膜成分及周期对抗冲蚀性能的影响

摘要：

苛刻环境下发动机组件存在严重的固体颗粒(SPE)冲蚀,导致其可靠性降低.为研究多层膜成分及调制周期对膜层冲蚀性能的影响,利用金属蒸发真空弧离子源(MEVVA)和磁过滤阴极真空弧复合离子束沉积技术在AM355基材表面制备交替周期分别为5、13和26的3组CrNx/Tim Cr1-mN、TiNy/TimCr1-mN多层膜.采用微粒喷浆冲蚀试验机、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线衍射仪(XRD)等对膜层冲蚀性能、形貌及物相结构进行测试表征.结果表明:采用该技术制备的CrNx/Tim Cr1-mN、TiNy/Tim Cn-mN多层膜结构致密、交替层变化明显.随着交替周期的增加,两体系多层膜的晶面间距减小,抗冲蚀性能得到提高,分别提高了8倍和20倍以上.

关键词：磁过滤阴极真空弧、多层膜、交替周期、冲蚀性能

所属期刊栏目：28

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：北京机械工业自动化研究所所基金10211169032

在线出版日期：2015-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：105-112