脉冲偏压占空比对复合离子镀TiCN涂层结构和性能的影响

摘要：

采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在高速钢基底上制备TiCN涂层,通过改变脉冲偏压占空比的大小获得了不同的涂层试样,利用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、维氏硬度计等对涂层进行表征,研究占空比对TiCN涂层组织结构和力学性能的影响.结果表明:随着脉冲偏压占空比的增加,TiCN涂层的表面大颗粒逐渐减少,表面形貌得到改善.涂层结构中,(111)晶面的择优取向趋势明显,沉积速率和显微硬度均出现先增大后减小的趋势,且在占空比为40％时均达最大值.TiCN涂层的最高硬度为3 800 HV0.025,约为基底硬度的4倍.

关键词：复合离子镀、脉冲偏压占空比、TiCN涂层、显微硬度

所属期刊栏目：27

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金61078059;天津师范大学学术创新推进计划52X09038

在线出版日期：2014-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：100-106