氟含量对类金刚石薄膜结构及摩擦学性能的影响

摘要：

采用直流等离子体沉积的方法制备了具有不同氟含量的类金刚石薄膜.并利用多功能X射线光电子能谱仪(XPS)、拉曼光谱仪、纳米压痕仪、应力测试仪和摩擦磨损试验机等手段分析和研究了含氟类金刚石薄膜的结构、力学性能以及摩擦学性能,并利用场发射扫描电镜(SEM)观察了薄膜断面形貌.结果表明:所制备薄膜的力学性能和摩擦学性能均受到薄膜中氟含量的影响,当F含量(原子数分数)为5.92％时,薄膜显示了优异的力学性能及摩擦学性能,硬度值高达21 GPa,压应力低至0.75 GPa,摩擦因数为0.013,磨损率为9×10-19 m3/(N·m).

关键词：氟化类金刚石、等离子体沉积、摩擦性能

所属期刊栏目：26

分类号：TG174.44;TG115.58(金属学与热处理)

资助基金：国家基础研究发展计划973计划2013CB632300

在线出版日期：2013-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：66-71