钢领表面电弧离子镀TiAlCN薄膜

摘要：

在低温(145℃)条件下,采用真空电弧离子镀技术在GCr15钢领表面制备TiAlCN薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、电子探针(EPMA)、X射线衍射仪(XRD)、附着力测试仪和显微硬度计分析测试薄膜形貌和性质.结果表明,负偏压较小,液滴尺寸大；负偏压过高,液滴脱落后留下很多凹坑,薄膜组织性能恶化.随着弧电流的增大,液滴发生细化.当弧电流为50 A、负偏压为-100 V和镀膜时间为50 min时,薄膜的均匀性和致密性好,薄膜表面的液滴分布均匀且尺寸小,液滴最大尺寸小于2μm,膜层平均厚度为2.2 μm,膜层中有Fe0.975 Ti0.025(110)、Ti2N(112)和AlTi3 (CN)06等多种物质的存在,改善了膜层的组织结构,薄膜的附着力达到最大值39.8 N,薄膜的硬度达到最大值1 776 HV0.01,显著提高了钢领的表面硬度.

关键词：真空电弧离子镀、TiAlCN、硬度、附着力

所属期刊栏目：26

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：陕西省教育厅产业化中试项目2011TG24

在线出版日期：2013-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：51-55