缠绕钨丝CVD钨管的组织及性能

摘要：

为了提高CVD钨的强度和韧性,采用自制化学气相沉积装置,以WF6和H2为反应气体,在化学气相沉积钨过程中周期性地在基体上缠绕钨丝,沉积制备了钨丝- CVD钨复合材料.使用金相显微镜和扫描电镜(SEM)分别对沉积制备的钨丝-CVD钨复合材料涂层的显微组织和断口形貌进行观察和分析,使用X射线衍射仪(XRD)、电子能谱仪、密度测量仪、显微硬度仪和万能材料试验机分别测试分析了涂层的结构、成分、密度、显微硬度及压溃强度.结果表明:与不缠钨丝的CVD钨管相比,缠绕钨丝的CVD钨管中CVD钨晶粒得到了细化,择优取向基本消失；钨丝-CVD钨复合材料涂层具有较高纯度和致密度；钨丝-CVD钨管的压溃强度显著提高,断口形貌发生了明显的变化.

关键词：化学气相沉积(CVD)、钨丝、复合材料

所属期刊栏目：25

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：63-67