基底温度对掺氟类金刚石碳膜摩擦学性能的影响

摘要：

以CF4,CH4和H2作为前驱气体,改变基底温度,通过直流脉冲等离子气相沉积法(PECVD)制备掺氟类金刚石碳膜,用傅里叶红外光谱仪分析薄膜的键合结构,用拉曼光谱仪分析薄膜中杂化碳的sp2和sp3的存在状态,用纳米压痕仪和UMT-2MT摩擦磨损实验机分别测量了薄膜的硬度、摩擦因数等机械性能.结果表明,F主要以C-F3,C-Fx(x=1,2,3)基团的形式存在于薄膜中；基底温度从不加热到500℃的范围,薄膜能够保持较低于0.020的摩擦因数；且基底温度为400℃时薄膜具有0.016的最低摩擦因数,但当基底温度超过600℃时,会破坏薄膜的内部结构而使机械性能下降.

关键词：摩擦因数、氟掺杂、等离子增强气相沉积(PECVD)

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分类号：TG174.444;TG115.58(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金50823008,50975273;国家科技部项目2010DFB34050

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-36