梯度基体温度法和反应溅射TiC过渡层对钛合金基体沉积金刚石薄膜的影响

摘要：

以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛合金(Ti6Al4V)平板基体上制备金刚石薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)和洛氏硬度仪分析薄膜的表面形貔、结构、成分和附着性能,研究了高温形核-低温生长的梯度降温法对原始钛合金和反应磁控溅射TiC过渡层的钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响.结果表明:原始基体区和TiC过渡层区沉积的金刚石薄膜平均尺寸分别为0.77 μm和0.75 μm,薄膜内应力分别为-5.85 GPa和-4.14 GPa,TiC层的引入可以有效提高金刚石的形核密度和晶粒尺寸的均匀性,并减少薄膜残余应力；高温形核-低温生长的梯度降温法可以有效提高金刚石的形核密度和质量,并提高原始基体上沉积金刚石薄膜的附着性能.

关键词：金刚石、过渡层、梯度降温、温度、热丝化学气相沉积

所属期刊栏目：25

分类号：TG174.44;TB43(金属学与热处理)

资助基金：粉末冶金国家重点实验室开放基金20110933K;中央高校基本科研业务费专项资金资助2012QNZT002

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：20-27